芯物科技“一種超透鏡、光學(xué)傳感器及其制備方法”專利公布
提供一種超透鏡、光學(xué)傳感器及其制備方法，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，超透鏡的制備方法步驟均采用較低的溫度條件，從而能夠直接在透明襯底上生長超透鏡結(jié)構(gòu)。
 國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，上海芯物科技有限公司申請一項名為“一種超透鏡、光學(xué)傳感器及其制備方法法”的專利，公開號CN118625424A，申請日期為2024年6月。 專利摘要顯示，本申請?zhí)峁┮环N超透鏡、光學(xué)傳感器及其制備方法，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，超透鏡的制備方法步驟均采用較低的溫度條件，從而能夠直接在透明襯底上生長超透鏡結(jié)構(gòu)且在整個制備過程中不使如玻璃材料制備的透明襯底發(fā)生變形現(xiàn)象，這樣的制備方法能夠減少工藝流程，降低制備成本的同時，具有較高的制備良率。  |
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