諾爾光電“單光子雪崩二極管圖像傳感器及其制造方法”專利公布
提供一種單光子雪崩二極管圖像傳感器晶圓及其制造方法、一種單光子雪崩二極管圖像傳感器及其制造方法,方法包括:提供施主襯底,施主襯底包括后續(xù)能夠進行光響應的吸收層。
國家知識產權局信息顯示,廣州諾爾光電科技有限公司申請一項名為“單光子雪崩二極管圖像傳感器晶圓及其制造方法、單光子雪崩二極管圖像傳感器及其制造方法”的專利,公開號CN118888562 A,申請日期為 2024年7月。 專利摘要顯示,本申請?zhí)峁┮环N單光子雪崩二極管圖像傳感器晶圓及其制造方法、一種單光子雪崩二極管圖像傳感器及其制造方法,方法包括:提供施主襯底,施主襯底包括后續(xù)能夠進行光響應的吸收層。提供目標襯底,目標襯底包括依次層疊設置的第二襯底、埋氧層和第一硅層,在目標襯底上形成第一絕緣層,構成受主襯底,鍵合受主襯底和施主襯底,去除部分厚度的第一襯底,得到單光子雪崩二極管圖像傳感器晶圓。通過利用包括第二襯底、埋氧層和第一硅層的目標襯底,以及在目標襯底上形成第一絕緣層能夠形成雙層諧振腔結構,雙層諧振腔結構能夠形成高性能單光子雪崩二極管圖像傳感器晶圓,最終制造得到高性能單光子雪崩二極管圖像傳感器。 |
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1.行業(yè)新聞、市場分析。 2.新品新技術(最新研發(fā)出來的產品技術介紹,包括產品性能參數(shù)、作用、應用領域及圖片); 3.解決方案/專業(yè)論文(針對問題及需求,提出一個解決問題的執(zhí)行方案); 4.技術文章、白皮書,光學軟件運用技術(光電行業(yè)內技術文檔);
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