[求助]哪位在用光控的設備 [復制鏈接]

一直在做晶控設備，現在想了解一下光控是怎么控制膜厚的，設計導入怎么處理。請教各位，謝謝。

光控導入需要先進行計算，就是用膜系設計軟件對你設計的每一層給定一個監(jiān)控波長，然后算出回值比例，將這個比例以及你的監(jiān)控波長導入膜系制程的對應位置，監(jiān)控波長要跟你計算折射率時候算出的光控TOOLING值相乘后帶入膜系制程中。 mYzcVhV  
你用的什么鍍膜機？我們用的光馳跟昭不同的鍍膜機導法不一樣，但是原理都是一樣的。 m#;.yR  
附件是光控的一些知識點。 *w|iu^G  

謝謝！

囊中蓄乾坤:謝謝！ (2017-12-28 18:59)  k#BU7Exij  

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有幫助不？你們用的啥機器

奔跑的小駿馬:有幫助不？你們用的啥機器 (2017-12-29 07:46)  cN0~;!{i  

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沒有用過，想了解一下這方面的，國產機

金幣不夠撒是

膜系設計，最初得到的就是光學膜厚。  h;:Se  
然后軟件再根據折射率，算出物理（水晶）膜厚。 =X%R*~!#Of  
但是實際上折射率不是恒定的（特別是不同材料的交界處） ,& \&::R  
所以我們在鍍膜機輸入的物理（水晶）膜厚，和設計軟件算出的膜厚還不一樣，需要進行調整。 q_%w l5\F  
特別是那種材料層數比較多的膜系，開始幾層如果跑偏一點的話，后面就會差上很多。 .$}Z:,aB  
vh:UXE lm  
但是光控控制的就是光學膜厚，所以基本上和軟件算出的膜厚是一樣的。 oK(W)[u  
光控的問題是精度沒有晶控好，所以在薄層上無法用到光控。 .wt>.mUH  
所以AR膜最好不要用光控。

ouyuu:膜系設計，最初得到的就是光學膜厚。 Bbe/w#Z  
然后軟件再根據折射率，算出物理（水晶）膜厚。
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但是實際上折射率不是恒定的（特別是不同材料的交界處） &V,-W0T_  
所以我們在鍍膜機輸入的物理（水晶）膜厚，和設計軟件算出的膜厚還不一樣，需要進行調整。 uhN
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特別是那種材料層數比較多的膜系，開始幾層如 .. (2018-01-18 10:34)   M$-(4