[求助]高反膜機(jī)差問題 [復(fù)制鏈接]

ouyuu:懷疑是排氣能力差異。 :Ojsj_Z;;  
開鍍真空一樣嗎？都開充氧了嗎？充氧壓力多少？ (2018-02-02 09:16)  )ieT/0nt  

S-\;f jh  
開鍍真空一樣，都是2E-3Pa，都開充氧了，目前最主要問題是穩(wěn)定性不好，有些Run次鍍出來是OK的，有些就不好，不知道是哪里造成的穩(wěn)定性差

dcfcwdx:[表情]單層的PEAK對比過，確實是有差異的，關(guān)鍵是怎樣調(diào)節(jié)折射率和吸收呢？ (2018-03-03 22:41)  $n30[P@p;  

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是什么差異呢？整體向上偏移？還是波峰更高，波谷更低？ U8+5{,$\.  
如果是吸收，那就改善充氧。 8cV3VapF  
如果是折射率差異，那就改變蒸發(fā)速率。 Sl,\<a  

ouyuu:是什么差異呢？整體向上偏移？還是波峰更高，波谷更低？ 2pKkg>/S  
如果是吸收，那就改善充氧。 U3R;'80 f  
如果是折射率差異，那就改變蒸發(fā)速率。
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 (2018-03-06 13:05)  q5@N//<DNN  

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鍍TiO2單層來比較是，較差的機(jī)臺的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，還有，改善充氧就是改變APC壓力嗎？

dcfcwdx:鍍TiO2單層來比較是，較差的機(jī)臺的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，還有，改善充氧就是改變APC壓力嗎？ (2018-03-13 20:40)  y-.<iq