[求助]高反膜機(jī)差問題 [復(fù)制鏈接]

ouyuu:懷疑是排氣能力差異。 {6"Ph(I1  
開鍍真空一樣嗎？都開充氧了嗎？充氧壓力多少？ (2018-02-02 09:16)  NPCs('cd>?  

_&N2'hG=sn  
開鍍真空一樣，都是2E-3Pa，都開充氧了，目前最主要問題是穩(wěn)定性不好，有些Run次鍍出來是OK的，有些就不好，不知道是哪里造成的穩(wěn)定性差

dcfcwdx:[表情]單層的PEAK對(duì)比過，確實(shí)是有差異的，關(guān)鍵是怎樣調(diào)節(jié)折射率和吸收呢？ (2018-03-03 22:41)  an|x$e7|?  

)6+eNsxMlC  
是什么差異呢？整體向上偏移？還是波峰更高，波谷更低？ ?\$#L^;b}  
如果是吸收，那就改善充氧。 > `n,S  
如果是折射率差異，那就改變蒸發(fā)速率。 <(-3_s6-  

ouyuu:是什么差異呢？整體向上偏移？還是波峰更高，波谷更低？ 0&/b42W  
如果是吸收，那就改善充氧。 Yc,7tUz#  
如果是折射率差異，那就改變蒸發(fā)速率。 "