[求助]高反膜機(jī)差問(wèn)題 [復(fù)制鏈接]

ouyuu:懷疑是排氣能力差異。 u}qfwVX Z  
開鍍真空一樣嗎？都開充氧了嗎？充氧壓力多少？ (2018-02-02 09:16)  P/,7CfyPd  

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開鍍真空一樣，都是2E-3Pa，都開充氧了，目前最主要問(wèn)題是穩(wěn)定性不好，有些Run次鍍出來(lái)是OK的，有些就不好，不知道是哪里造成的穩(wěn)定性差

dcfcwdx:[表情]單層的PEAK對(duì)比過(guò)，確實(shí)是有差異的，關(guān)鍵是怎樣調(diào)節(jié)折射率和吸收呢？ (2018-03-03 22:41)  l:z:tJ#(  

 S`U Gk  
是什么差異呢？整體向上偏移？還是波峰更高，波谷更低？ Olj]A]v}  
如果是吸收，那就改善充氧。 $io-<Z#Q  
如果是折射率差異，那就改變蒸發(fā)速率。 =yz#L@\!  

ouyuu:是什么差異呢？整體向上偏移？還是波峰更高，波谷更低？ thipfS  
如果是吸收，那就改善充氧。 w?jmi~6  
如果是折射率差異，那就改變蒸發(fā)速率。 ~<v{CBq[  
 (2018-03-06 13:05)  XhWMvme  

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鍍TiO2單層來(lái)比較是，較差的機(jī)臺(tái)的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，還有，改善充氧就是改變APC壓力嗎？

dcfcwdx:鍍TiO2單層來(lái)比較是，較差的機(jī)臺(tái)的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，還有，改善充氧就是改變APC壓力嗎？ (2018-03-13 20:40)  xZ;';}&pj  

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看起來(lái)像是折射率問(wèn)題。 `&pb`P<`  
你這邊用離子源輔助嗎？ cgz'6q'T  
如果有，就改變一下離子源參數(shù) 
}Ecm  
如果沒(méi)有，就改一下電子槍速率看看。

ouyuu:看起來(lái)像是折射率問(wèn)題。 S8]g'!  
你這邊用離子源輔助嗎？ 5,mb]v0k  
如果有，就改變一下離子源參數(shù) lq%s/l  
如果沒(méi)有，就改一下電子槍速率看看。 (2018-03-15 23:35)  i\t4TdEx(  

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既然是折射率差異，那就直接按照兩臺(tái)機(jī)各自的折射率重新設(shè)計(jì)一下膜系不就好了么；如果要變更速率，那折射率不也一樣跟著變了，變量不就多了么。

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機(jī)臺(tái)不一樣，折射率是有差異的，這個(gè)差異在鍍膜厚是就明顯

奔跑的小駿馬:既然是折射率差異，那就直接按照兩臺(tái)機(jī)各自的折射率重新設(shè)計(jì)一下膜系不就好了么；如果要變更速率，那折射率不也一樣跟著變了，變量不就多了么。 (2018-03-23 11:51)  S^
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UX(#C,qgG  
一般不建議改膜系，膜系不一致會(huì)帶來(lái)更多問(wèn)題。 :uqsRFo&4  
而且隨著設(shè)備使用，說(shuō)不定折射率還會(huì)變的，你就不停改膜系？ ^TnBtIU-B  
折射率則簡(jiǎn)單很多，找到影響折射率的因素這才是關(guān)鍵。 DmPp&  
5H>[@_u+:  
其實(shí)也不叫變更速率，水晶設(shè)置有一項(xiàng)叫TOOLING，這個(gè)TOOLING值改變一下就相當(dāng)于改了速率。

現(xiàn)在膜系成熟了沒(méi)有？？