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    [討論]材料N值和K值 [復(fù)制鏈接]

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    離線oprs999
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-02-23
    求各位大神指點(diǎn)迷津 "+"dALX{3K  
    *m Tc4&*  
    怎么才可以獲取正確的材料N值和K值 hzVr3;3Zn  
    8pKPbi;(2  
    我現(xiàn)在的方法是鍍一個(gè)5k的膜,然后先測裸片監(jiān)控片的反射率,再測鍍膜后的監(jiān)控片反射率,導(dǎo)入到MAC里去算N和K,但是把材料回推回去看光譜還是和實(shí)測的光譜不一樣,這里面的原因是啥? vb2O4%7tw  
    y,eoTmaI  
    我的想法是機(jī)臺鍍膜隨著時(shí)間的推移每一層的膜N和K都不一樣。 e/~<\  
    ~9 nrS9)  
    前題是我是用晶控去控制,不是光控。
     
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    離線洋洋0109
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2018-05-11
    我夜想知道!
    離線huangweipeng
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2018-05-16
    同求。。。!
    離線ruby6843
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2018-05-27
    我是用穿透量測(吸收考量) X*;p;N  
    鍍5Q膜厚 LD"}$vfs  
    先以macleod求出基板N與K