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    [討論]材料N值和K值 [復(fù)制鏈接]

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    離線oprs999
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-02-23
    求各位大神指點(diǎn)迷津 -&3mOn& (1  
    u~VvGLFf5,  
    怎么才可以獲取正確的材料N值和K值 Weu%&u-  
    >+8Kl`2sw;  
    我現(xiàn)在的方法是鍍一個5k的膜,然后先測裸片監(jiān)控片的反射率,再測鍍膜后的監(jiān)控片反射率,導(dǎo)入到MAC里去算N和K,但是把材料回推回去看光譜還是和實測的光譜不一樣,這里面的原因是啥? 2,.;Mdl  
    q/l@J3p[qm  
    我的想法是機(jī)臺鍍膜隨著時間的推移每一層的膜N和K都不一樣。 Y9_OkcW)  
    >;M?f!  
    前題是我是用晶控去控制,不是光控。
     
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    離線洋洋0109
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2018-05-11
    我夜想知道!
    離線huangweipeng
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2018-05-16
    同求!。。!
    離線ruby6843
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2018-05-27
    我是用穿透量測(吸收考量) k ICZc{} `  
    鍍5Q膜厚 Dd:;8Xo  
    先以macleod求出基板N與K @cz\'v6E  
    再求出藥材N與K *6b$l.Vs  
    離線js2700
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2018-06-14
    同求TFC計算  Tooling值的方法  
    離線knight627
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2018-08-06
    這個 可以探討,特別誤差在金屬上面例如TI等,誤差很大,真實的n和k導(dǎo)出來!我覺得主要根電子槍關(guān)系大,
    離線johnyu
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2018-08-13
    5k?unit是什麼?5000nm? ~H)s>6>#v  
    ,iQRf@#W_b  
    你設(shè)定厚度與實際厚度的誤差是多少? [-$