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材料N值和K值
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oprs999
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樓主
發(fā)表于: 2018-02-23
求各位大神指點(diǎn)迷津
eaWK2%v
Ny" "lcy
怎么才可以獲取正確的材料N值和K值
kJ_XG;8
>gTQD\k:D
我現(xiàn)在的方法是鍍一個5k的膜,然后先測裸片監(jiān)控片的反射率,再測
鍍膜
后的監(jiān)控片反射率,導(dǎo)入到MAC里去算N和K,但是把
材料
回推回去看
光譜
還是和實(shí)測的光譜不一樣,這里面的原因是啥?
hpBn_
$/)0iL{0
我的想法是機(jī)臺鍍膜隨著時間的推移每一層的膜N和K都不一樣。
XS_Ib\-50
(>,}C/-UG
前題是我是用晶控去控制,不是光控。
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洋洋0109
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發(fā)表于: 2018-05-11
我夜想知道!
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huangweipeng
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2樓
發(fā)表于: 2018-05-16
同求。。。。
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ruby6843
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發(fā)表于: 2018-05-27
我是用穿透量測(吸收考量)
PESJ7/^E
鍍5Q膜厚
_>/OqYR_jQ
先以macleod求出基板N與K
;Ebpf J
再求出藥材N與K
[h@MA|
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js2700
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4樓
發(fā)表于: 2018-06-14
同求TFC計算 Tooling值的方法
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knight627
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5樓
發(fā)表于: 2018-08-06
這個 可以探討,特別誤差在金屬上面例如TI等,誤差很大,真實(shí)的n和k導(dǎo)出來!我覺得主要根電子槍關(guān)系大,
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johnyu
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6樓
發(fā)表于: 2018-08-13
5k?unit是什麼?5000nm?
jHWJpm(
MESPfS+
你設(shè)定厚度與實(shí)際厚度的誤差是多少?
j,CMcP7A -
\`: