1 引言
V#, jUH| /wX5>^ 超精密加工機床的研制開發(fā)始于20世紀(jì)60年代。當(dāng)時在美國因開發(fā)激光核聚變實驗裝置和紅外線實驗裝置需要大型金屬反射鏡，因而急需開發(fā)制作反射鏡的超精密加工技術(shù)。以單點金剛石車刀鏡面切削鋁合金和無氧銅的超精密加工機床應(yīng)運而生。1980年美國在世界上首次開發(fā)了三坐標(biāo)控制的M-18AG非球面加工機床，它標(biāo)志著亞微米級超精密加工機床技術(shù)的成熟。日本的超精密加工機床的研制開發(fā)滯后于美國20年。從1981～1982年首先開發(fā)的是多棱體反射鏡加工機床，隨后是磁頭微細(xì)加工機床、磁盤端面車床，近來則是以非球面加工機床和短波長X線反射鏡面加工機床為主。德國、荷蘭以及中國臺灣的超精密加工機床技術(shù)也都處于世界先進水平。我國的超精密加工機床的研制開發(fā)工作雖起步比較晚，但經(jīng)過廣大精密工程研究人員的不懈努力，已取得了可喜的成績。哈爾濱工業(yè)大學(xué)精密工程研究所研制開發(fā)的HCM-Ⅰ超精密加工機床，主要技術(shù)指標(biāo)達到了國際水平。國外部分超精密加工機床和HCM-Ⅰ超精密加工機床的性能指標(biāo)如表1所示。本文主要論述超精密加工機床的關(guān)鍵部件技術(shù)。
表1 國內(nèi)外典型超精密車床性能指標(biāo)匯總 J3z:U&%=
| 型號(生產(chǎn)廠家) | HCM-Ⅰ YHOo6syk
(中國哈工大) | M-18AG '/'dg5bfV
(莫爾特殊機床,美國) | Ultraprecision CNC machine asZ(Hz%
(東芝,日本) | Ultraprecision Lathe #oD;
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