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    [轉(zhuǎn)載]VLF技術文章——用于微結(jié)構晶片檢測的光學系統(tǒng) [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-04-28
    摘要 9+:Trc\%N  
    -FI1$  
    在半導體產(chǎn)業(yè)中，晶片檢測系統(tǒng)用于檢查晶片上的缺陷并找到它們的位置。為保證微結(jié)構的圖像解析度，檢測系統(tǒng)常使用一個高NA的物鏡，工作在紫外波長范圍。作為一個例子，模擬了一個完整的晶片檢測系統(tǒng)，包括高NA聚焦效應和光與微結(jié)構的互作用，并演示了圖像的形成。 ]'G7(Y\)f  
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