[轉(zhuǎn)載]VLF技術(shù)文章——用于微結(jié)構(gòu)晶片檢測的光學系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

摘要 3(':4Tas  
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在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，晶片檢測系統(tǒng)用于檢查晶片上的缺陷并找到它們的位置。為保證微結(jié)構(gòu)的圖像解析度，檢測系統(tǒng)常使用一個高NA的物鏡，工作在紫外波長范圍。作為一個例子，模擬了一個完整的晶片檢測系統(tǒng)，包括高NA聚焦效應(yīng)和光與微結(jié)構(gòu)的互作用，并演示了圖像的形成。 rG1l:Z)  
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