近邊X射線吸收精細結構（NEXAFS）譜包含了吸收原子的局域結構信息，由于其適用范圍廣，靈敏度高，已經(jīng)成為研究物質結構的重要手段之一。為了研究有機物的碳1s NEXAFS譜，本文基于氣體激光等離子體X射線光源，采用具有平場特性的凹面變線距光柵作為分光元件，面陣CCD作為光譜探測器，設計了一臺小型掠入射式近邊X射線吸收譜儀。通過優(yōu)化光柵和CCD的裝配方案，得到了入射角88.6°的裝配參數(shù)。利用光線追跡法分析了譜儀的分辨率，該譜儀工作波段2~5 nm，在4.4 nm處分辨率可達666。通過分析各結構參量誤差對譜線半高寬的影響發(fā)現(xiàn)，半高寬對入射角的誤差最為敏感，優(yōu)化的裝配方案可以實現(xiàn)入射角的高精度調節(jié)。利用氮氣等離子體光譜測試了光譜儀的性能，結果顯示分辨率達到設計指標。
