[求助]鍍膜起白霧 [復(fù)制鏈接]

我們現(xiàn)在做電阻蒸發(fā)遇到了一種情況，電壓在2.35V時，做出來的產(chǎn)品有少量白霧，但是水滴角不達(dá)標(biāo)，電壓2.4V時，白霧增加，水滴角又能滿足要求了，白霧可以通過放置一段時間消除也可以用酒精擦掉，哪位大蝦幫忙分析一下是什么原因嗎？跟設(shè)備結(jié)構(gòu)有關(guān)系嗎，過工藝的真空8.0e-2

白霧是你防水膜料的問題。 QUKv :;  
可能1是膜料放置時間太長。 b/6!>qMMk%  
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防水膜是一層絡(luò)合物。鍍上后絡(luò)合在一起形成防水膜。 1dl(`=^X  
鍍膜膜料里面會混有一些溶劑， Sgq" 3(+%,  
可能2是溶劑純度的問題。 {N'<_%cu  
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ouyuu:白霧是你防水膜料的問題。 L!0}&i;u~5  
可能1是膜料放置時間太長。
防水膜是一層絡(luò)合物。鍍上后絡(luò)合在一起形成防水膜。 SlI wLv^  
鍍膜膜料里面會混有一些溶劑， c!]Q0ib6  
.......?(2018-10-11 12:23)? ~ugH2jiB  

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除了膜料，還有可能是其他方面的原因嗎？比方說真空室有殘余水分，做AF時冷泵的閥門是關(guān)閉的， 可以通過調(diào)節(jié)工藝來消除這個現(xiàn)象嗎？

白楊禮贊:除了膜料，還有可能是其他方面的原因嗎？比方說真空室有殘余水分，做AF時冷泵的閥門是關(guān)閉的， 可以通過調(diào)節(jié)工藝來消除這個現(xiàn)象嗎？ (2018-10-12 20:27)  4@=[rZb9  

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如果是阻蒸的話，你可以試著調(diào)整一下電流。 c3(0BSv  
或者鍍AF之前空抽幾分鐘，讓基板降一下溫度再鍍。

ouyuu:如果是阻蒸的話，你可以試著調(diào)整一下電流。 syk,e4:oA  
或者鍍AF之前空抽幾分鐘，讓基板降一下溫度再鍍。?(2018-10-13 23:13)? $'KhA6u  

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我們用的是阻蒸，AF前期有一個60秒的高抽到8.0*e-2，是不是時間要延長？

可以試著改變電流和真空度這些多做一些實驗

白楊禮贊:我們用的是阻蒸，AF前期有一個60秒的高抽到8.0*e-2，是不是時間要延長？ (2018-10-14 09:16)  h3;RVtS  

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