IBM正嘗試利用石墨烯超越7nm制程
早在4年前,IBM投入了30億美元用來研發(fā)納米電子器件,最近IBM的研究人員首次實現(xiàn)了在石墨烯表面以97%的準確性在特定的石墨烯基底上沉積如量子點、碳納米管、層狀納米材料等。采用了納米材料經(jīng)典的自上而下和自下而上的混合工藝,
1、在碳化硅基底上生長石墨烯,再揭下放在硅/氧化硅晶片上; 2、刻蝕石墨烯,產(chǎn)生層積位點,沒被刻蝕的石墨烯充當下一步的電極; 3、在交流電場中使溶液里的納米材料被附在石墨烯層積位點附近; 4、除去石墨烯層積電極。 這種方法的最大好處在于能夠以納米級分辨率層積各種納米材料,石墨烯電極使得層積的納米材料有很好的取向和密度。 在石墨烯上層積納米材料不失為一種跨越摩爾定律的好方法。 " 關鍵詞: 石墨烯
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