概述
0^*4LM|z m[!t7e 該
系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設(shè)計的中繼鏡組成。
光源被
成像到中繼鏡的光瞳中。
光束在物體掩模處會聚,在中繼
透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處,多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示:
?%i|].<-' sKB])mf] V9I5/~0c 掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣
D&0*+6j(( 窄條產(chǎn)生寬的旁瓣,僅部分通過中繼入口瞳孔
~A}"s-Kq5 寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣,更容易通過中繼入口瞳孔
R"];`F(# 部分通過旁瓣會產(chǎn)生部分解析
uNxR#S iyc}a6g 系統(tǒng)描述
fBR,Oneo L10Vq}W" 本例介紹了如何采用全局
衍射分析對部分相干進(jìn)行
建模。如上圖所示,整體裝置是一個科勒
照明系統(tǒng),其中有一個聚光元件能夠?qū)⒎窍喔晒庠吹墓膺M(jìn)入轉(zhuǎn)像透鏡的
孔徑中。在一個經(jīng)典的科勒照明系統(tǒng)中,點光源通過一個聚光鏡成像在轉(zhuǎn)像系統(tǒng)的光瞳中。光源照亮物體掩膜面,并在最后的成像面上得到適當(dāng)?shù)姆糯。為了對光束合理采樣,光源放在物的共軛點處,這樣在光源面上,點光源將是有一定維度的,而不是像理想點光源那樣,會引起混沌。對一個具有一定尺寸的光源,它所成的像就是部分相干的。如果光源足夠大,大到可以填滿轉(zhuǎn)像透鏡的孔徑的話,所成的像將是非相干的。
HY~\e|o $L)9'X 模擬結(jié)果
F/tBr%RV U2$e?1y 三柵條圖樣的部分相干成像
I5wf|wB- ah>;wW!6/ 兩組七柵條圖樣建模對比
iS&fp[Th 1>c`c]s3 fa8vY gs_"H (來源:訊技光電)