摘要:為滿足大氣輻射系統(tǒng)中光學(xué)元件的使用要求,即可見(jiàn)與近紅外波段高透過(guò),根據(jù)雙有 效界面法設(shè)計(jì)原理配合膜系軟件設(shè)計(jì)膜系,采用離子輔助沉積,電子束真空鍍膜的方法,通過(guò) 對(duì)工藝參數(shù)的調(diào)整和監(jiān)控方法的改進(jìn),制備400~1200 nm寬帶增透膜。所鍍膜層在垂直入射 時(shí),400~1200 nm波段平均反射率小于 1%。同時(shí)對(duì)膜層牢固性進(jìn)行了測(cè)試,滿足大氣輻射系 統(tǒng)的使用要求。 #`)-$vUv^f
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關(guān)鍵詞:光學(xué)薄膜;大氣輻射系統(tǒng);寬帶增透膜;離子輔助