摘要
iR;Sd >) 當(dāng)用近軸光
照明時(shí),亞
波長(zhǎng)光柵僅產(chǎn)生一個(gè)
衍射級(jí),因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題,可以使用非傍軸照明。如在此示例中,采用高NA聚光
透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明,并且該衍射場(chǎng)將由另一個(gè)高NA物鏡采集。VirtualLab可以
模擬這樣的
成像過程,包括使用傅立葉模態(tài)法對(duì)亞波長(zhǎng)光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。
b/IT8Cm3 5gnNgt~ ">vxYi m\>531& 1. 建模任務(wù)
zPWX%1Qr ydo"H9NOS _=9o:F >S4klW=*I 2. 結(jié)果
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0VM> t2Dx$vT*& 3.
文件和技術(shù)信息
c e`3& U$o\?4 }t!,{ZryE1 >vE1,JD)w (來源:訊技光電)