摘要
2%y}El^+_ 當(dāng)用近軸光
照明時，亞
波長光柵僅產(chǎn)生一個
衍射級，因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題，可以使用非傍軸照明。如在此示例中，采用高NA聚光
透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明，并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以
模擬這樣的
成像過程，包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。
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^>` Q|q.~x<RQ 1. 建模任務(wù)
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6nV]Ec~3[ >T[1=;o] 2. 結(jié)果
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文件和技術(shù)信息
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e~w-v"' qN% i$mJTo （來源：訊技光電）
