傳統(tǒng)意義上,Essential
Macleod的設(shè)計是由一系列完全干涉的
薄膜組成,并只在基板的一側(cè)形成膜層。而Stack是由一組膜層和基板組成,基板的兩個面是平行的,以便在相同
材料中傳播角度相同。Stack中,膜層被介質(zhì)(或基底)分開,介質(zhì)(或基底)由其材料和厚度定義。入射介質(zhì)和出射介質(zhì)是半無限的,但其它介質(zhì)的厚度都是有限的。另一方面,膜層是繼續(xù)支持完全一致性,即完全干涉。這通常是真實膜層和基底的情況,即考慮基板后表面反射或者
鍍膜的情況。
LP) IL~ P7!gUxcv9Y 為什么介質(zhì)或基板不支持干涉?這是一個
系統(tǒng)問題;宓暮穸韧ǔR院撩锥皇
納米來測量,因此路徑差異非常長。入射角、
波長和厚度的微小變化,雖然對路徑差異的比例效應(yīng)很小,但對它們所代表的相位變化有很大影響,因為許多波長都涉及到這些路徑差異。當(dāng)各種
光線組合在一起時,干涉條紋會被沖掉,只留下總的輻照度。在單個設(shè)計文檔時,我們總是假設(shè)使用完全準(zhǔn)直的單色光,其中入射角和波長變化的相應(yīng)影響通常很小,可以忽略不計,從而在設(shè)計中存在完全相干效應(yīng)。
\oO&c mWuhXY^Q x)T07,3: 圖1.基板足夠厚時,無需考慮干涉效應(yīng)。如果考慮基板的干涉,要將基板看成一層薄膜,而整個系統(tǒng)看作一個膜系
A&_v:z4y/ 另一個問題是,如果角度或波長的變化仍然較大,即使設(shè)計中的層也顯示出減少的干涉效應(yīng),那么會發(fā)生什么,什么叫做部分相干?此工具存在于Stack文檔中。計算
參數(shù)包括光中缺少準(zhǔn)直性(以圓錐半角表示)和缺少單色性(以
光譜帶寬表示)的影響。這些在Design文檔中不可用(除非在Stack中設(shè)置,稍后將介紹)。
]%UAN_T bjFND]p?w Stack中的第一列是標(biāo)題為Medium Type,這里有兩種選擇:Parallel以及Wedge。透射或反射的光將由某種接收器收集,這種接收器在計算中假定為均勻靈敏度。此接收器可能無法收集在不同表面之間來回反射后最終出現(xiàn)的所有光束。兩種極端情況是收集所有光束,以便沒有丟失,這種情況稱為Parallel。 另一個極端是它只收集從離它最近的表面反射一次的光束,這種情況被稱為Wedged。假設(shè)所有其他反射光束走出系統(tǒng),在傳輸中,那么Wedge不收集反射光束。如果我們有
成像系統(tǒng),Wedge計算代表形成的像,而Parallel計算代表所有可能的光。因此,它們之間的差異是雜散光。