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摘自User's Manual 10.3節(jié) s4bv;W 必須在像差輸入文件中描述評(píng)價(jià)函數(shù)的每個(gè)量,像差輸入文件必須以 @Z q[e
AANT [ P ] VE$t%QT 開頭 Mg\TH./Y: 以 #w|5jN? END MMd.0JuaO 結(jié)束 )~dOmfw%| 所有像差定義必須放在AANT和END命令行之間。可以創(chuàng)建高達(dá)15000個(gè)像差,有六種類型: cz(G]{N 在默認(rèn)模式下(開關(guān)29打開),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可選[P],并自動(dòng)給出AANT輸入列表。如果開關(guān)29關(guān)閉,可以控制列表的形式;[P]產(chǎn)生一個(gè)輸入圖像,而省略P導(dǎo)致像差定義的更長但完整的總結(jié)。 c\K<sM{ 如果開關(guān)89打開,則在每個(gè)優(yōu)化運(yùn)行的開始和結(jié)束時(shí)列出所有定義的像差的值。 由于列表可能很長,并且很少需要檢查所有列表,因此默認(rèn)關(guān)閉此開關(guān)。 h.}u?{ 最常使用兩種像差定義。這兩種定義指定了一個(gè)要明確控制的量或表明這些量的一個(gè)集合。第一種使用輸入,如 U&W"Ea=R/ JDlBVZ! 在這里,GOALS部分以相對(duì)權(quán)重1將DETAILS部分中的量(在這種情況下是鏡頭的TOTL總長度)最小化到目標(biāo)值55.2。該部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多個(gè)項(xiàng),用A、S、MUL和DIV結(jié)合。例如,要控制厚度4和5的總和,可以輸入 D/:3RZF M 34.567 A TH 4 x<F$aXOS A TH 5 H1&RI4XC 定義要控制的量的一個(gè)集合的輸入采用如下形式 !y[3]8Xxv GNR 0.5 10 4 P 1 gDC2
>nV 在這個(gè)例子中,生成一個(gè)光線網(wǎng)格,參數(shù)0.5和10是權(quán)重,每半個(gè)光瞳4條光線,全視場(HBAR = 1)色差P(主色)。 [K:29N9~4 GOALS部分的輸入正式地采用如下形式 C:j]43` IaasHo\ t9` Ed>a 這個(gè)輸入后面跟著描述最小化內(nèi)容的附加參數(shù)(DETAILS部分)。 ^P$7A]! aname是一個(gè)最多8個(gè)字符的可選字符串,全部由數(shù)字組成或以字母開頭,名稱中沒有標(biāo)點(diǎn)符號(hào)或空格。 zPE$
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