摘要:采用光刻膠熱熔法制作具有特定尺寸的微透鏡,制作的微透鏡能將微透鏡陣列技術(shù)應(yīng)用于短波 1μm~3μm 紅 外探測器中,有效地提高探測器件的光電性能。采用 AZ P4620 厚光刻膠,利用紫外光刻技術(shù),對透鏡制作中的前烘、 曝光和顯影、堅(jiān)膜、熱熔等工藝進(jìn)行了深入細(xì)致的實(shí)驗(yàn)研究,確定了最優(yōu)的工藝參數(shù),實(shí)現(xiàn)了球冠直徑在(5.5±0.5) μm, 曲率半徑 3 μm 的微透鏡,且透鏡有很好的均勻性和一致性,滿足近紅外探測器件的要求。 5(2g*I
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關(guān)鍵詞:微透鏡陣列;光刻膠熱熔法;前烘;熱熔