synopsys中,可以通過命令來直接控制三階和五階
像差 liP{Mu/LO 直接通過一條命令語句,自由設(shè)置權(quán)重,可以根據(jù)需要來控制
系統(tǒng)的像差,但是要記。涸诳刂葡到y(tǒng)的像差,不是越小越好,而是是使各個(gè)像差趨于平衡。
=ApT#*D)o :|3C-+[ 最終表面的三、五階像差值可定義為待控制的像差。輸入是
$?{zV$r1 %BLKB%5 { A / S / MUL / DIV } name
hDMp^^$ j=S"KVp9NF 其中name是如下之一 :
9<mj@bI$ H4Ek,m|c SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC
iW~f @R{&>Q:. SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA
a<.@+sj{ Y|nTc.A SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP
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