[求助]IBS鍍制的TA2O5折射率過(guò)高的原因 [復(fù)制鏈接]

morningtech:如果測(cè)量和反演沒(méi)大的問(wèn)題，可考慮致密度大于100%。 _f5n t:-  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過(guò)程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來(lái)不及遷移，可能會(huì)帶來(lái)致密度比體材料還大。 o{wXq
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這點(diǎn)可以通過(guò)高溫退火（烘烤）來(lái)觀察。退火后，會(huì)測(cè)量到折射率下降，可伴隨厚度增加。
膜林科技，專業(yè)的光學(xué)真空鍍膜膜厚控制系統(tǒng) .. (2019-08-13 10:55)  p[M*<==4  

morningtech:如果測(cè)量和反演沒(méi)大的問(wèn)題，可考慮致密度大于100%。 7CKh?>  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過(guò)程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來(lái)不及遷移，可能會(huì)帶來(lái)致密度比體材料還大。
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這點(diǎn)可以通過(guò)高溫退火（烘烤）來(lái)觀察。退火后，會(huì)測(cè)量到折射率下降，可伴隨厚度增加。
膜林科技，專業(yè)的光學(xué)真空鍍膜膜厚控制系統(tǒng) .. (2019-08-13 10:55)  ~3u'=u9
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