以氧化鈦為例,當給定的參數(shù)(沉積速率太快,溫度太高,離子源工藝不對)不夠好時,薄膜生長結(jié)構(gòu)會出現(xiàn)結(jié)晶狀態(tài),會產(chǎn)生薄膜散射,也就是強光下可以看到薄膜發(fā)霧的現(xiàn)象。充氧不足也會導致吸收,但是不會發(fā)霧,吸收和散射本身是不一樣的。鍍厚之后,因為應(yīng)力等問題,發(fā)霧現(xiàn)象會更加明顯。最后表現(xiàn)出來可能就會有白渾的現(xiàn)象。 yPm2??5MW>
解決這種問題,首先要把單層時不發(fā)霧的工藝找好,其次多層時考慮應(yīng)力的問題。