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    [求助]如何提高蒸發(fā)速率？ [復(fù)制鏈接]

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    離線xiezhizhi
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2019-07-17
    南光鍍膜機(jī)。直接水冷無(wú)氧銅坩堝，涉谷電子槍。鍍鍺蒸發(fā)速率只有1A/s 電子槍束流230毫安真空度1.0*10-3pa。請(qǐng)問(wèn)如何提高蒸發(fā)速率。
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2019-07-17
    速率是晶控控制的。調(diào)晶控參數(shù)

    樓主留言：

    速率設(shè)定是3A/S束流230mA了還可以增加。因?yàn)闆](méi)鍍過(guò)鍺不知道速率可以達(dá)到多少。膜料液化在坩堝里跳動(dòng)的厲害再加電流怕會(huì)噴料
    離線lilisrlhj
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2019-07-19
    鍺料經(jīng)常會(huì)遇到這種狀況，多數(shù)增加蒸發(fā)功率也無(wú)法達(dá)到需要的蒸發(fā)速率，建議從電子槍和坩堝入手檢查，建議換小口徑的坩堝材料用石墨的比較合適。

    樓主留言：

    多謝 正在坩堝這條思路上實(shí)驗(yàn)。
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2019-07-20
    沒(méi)有鍍過(guò)，來(lái)學(xué)習(xí)的。
    離線淡小疼
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2019-07-21
    換個(gè)材料的坩堝
    離線opticsrain
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2019-07-28
    晶控參數(shù)和電子槍功率的改變不管用的話，可以調(diào)整電子束掃描范圍試試。
    離線xiezhizhi
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2019-08-06
    7o$4ov;T  
    石墨坩堝解決問(wèn)題
    離線wqc1987
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2020-05-11
    請(qǐng)問(wèn)樓主，用石墨坩堝濺料嗎，我使用石墨6A速率跟放花一樣，不知道石墨和鍺料誰(shuí)的問(wèn)題，望樓主點(diǎn)撥一二，不勝感激
    離線renlgj
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 08-22
    跟著學(xué)習(xí)吧
    離線linan5352633
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 12-06
    新接觸，學(xué)一下