具有直壁或傾斜側(cè)壁的二元
光柵已成為許多
光學應用中的關(guān)鍵部件。 感謝
納米壓印技術(shù),使小尺寸的光柵的制造已經(jīng)變得可行。
VirtualLab Fusion采用內(nèi)置的傅里葉模態(tài)方法(FMM,也稱為RCWA)和不同的
優(yōu)化算法,為二元光柵提供了完整的用戶友好的設(shè)計工作流程,和隨后的制造誤差分析,如圓邊效應。
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t,q0 高效
偏振無關(guān)透射光柵的分析與設(shè)計
c& ;@i$X( ooVs8T2 9O 'j+?(`@ 我們演示了如何嚴格分析二元光柵的偏振相關(guān)特性; 以及如何優(yōu)化二元
結(jié)構(gòu)以獲得高偏振無關(guān)的
衍射效率。
zP,r,ok7 ,ucRQ&P 傾斜光柵的
參數(shù)優(yōu)化與
公差分析
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