[求助]機臺清機前后分光偏移過大 [復制鏈接]

應該是真空放氣造成的。 c:
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清機后護板表面水氣會比較多，會影響真空度。 &&$/>[0=.  
另外你清機時門打開時間過長，真空倉內(nèi)又比較臟，也會吸收很多水氣。 6-va;G9Fc  
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建議把側(cè)壁加熱開到最大，抽個兩小時，同時鍍個幾層膜。

淡小疼:第一次出現(xiàn)這種情況還是每次清理完都有這種情況？ (2019-09-25 22:09)  QI~s~j  

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這一次清機沒有更換電子槍燈絲，分光偏移不大，可以接受，請問電子槍會影響這么多嗎？

工藝是否充氧？  &N0W!  

孔鑫鑫:這一次清機沒有更換電子槍燈絲，分光偏移不大，可以接受，請問電子槍會影響這么多嗎？ (2019-09-28 10:43)  ui9gt"qS`  

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新燈絲配合舊的槍頭是會有這種現(xiàn)象。 "j$}'uK<  
新燈絲表面比較光滑，舊槍頭的卡槽間隙一般也會比較大。 Z|8f7@k{|+  
卡槽卡不住燈絲，點著后由于熱脹冷縮，位置就不穩(wěn)定。 BD4.sd+H,  
燈絲燒一段時間就好了。 Q2rZMK  
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這種情況下只有換燈絲夾

大清機器一般會造成抽氣速度快,介質(zhì)折射率發(fā)生變化,成膜條件與定標條件不一直,又是晶控,介質(zhì)膜往短波方向漂移,如果想保持一致性,建議每兩爐換一塊襯板,不要一次性換完,特別是用繁楓的擴散泵會有輕微返油,大清把油處理后,再加上所有清洗的襯板,頭幾爐建議多抽氣烘烤幾次,當然最好還是找到適合自己機器的清理方式,讓每次鍍膜機器內(nèi)部環(huán)境接近一致

孔鑫鑫:已經(jīng)連續(xù)兩次了，我也是剛到這邊沒多久 (2019-09-26 08:32)  Ffhbs D  

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晶控機清機完肯定會往短波偏的，清完機第一爐先試鍍，你觀察下每次偏移是否穩(wěn)定有規(guī)律，如果是規(guī)律的每次補償就是了，還有檢查補正板、光斑、真空度這些是否前后一致

學習了，的確有此現(xiàn)象，但原因不明！

10天清一次機臺沒有對比性啊！

正常保養(yǎng)前后20NM偏移，你這個有些多了，多弄幾次找準規(guī)律就行了。

是否是修正板升起的高度有變化了？