摘要：針對目前已有的光學(xué)檢測設(shè)備無法實現(xiàn)大口徑大曲率半徑光學(xué)元件高精度檢測的問題，提出利用長程輪廓儀（ LTP）來進(jìn)行大口徑大曲率半徑（正、負(fù)）光學(xué)元件的精確測量，并通過實驗證明了LTP檢測大曲率半徑光學(xué)元件的優(yōu) 勢。分析計算LTP測量曲率半徑的算法精度，設(shè)計了合理的機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)測量，得到了全口徑的曲率半徑分布。 最后與球徑儀、刀口儀的測量結(jié)果進(jìn)行了對比。對R=37.108m和R=41.065m的球面鏡測量結(jié)果顯示， LTP的測量 重復(fù)性在0.05%以內(nèi)，與球徑儀、刀口儀的測量值相差均在0.05%以內(nèi)。研究結(jié)果表明，LTP可以用來解決目前幾十米 的大R曲率半徑光學(xué)元件難以高精度測量的難題。 Fhw:@@=
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關(guān)鍵詞：長程輪廓儀；曲率半徑測量；算法精度；旋轉(zhuǎn)測量
