摘要
4/*q0M{}B 'uC59X4l 高
數(shù)值孔徑的
物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此,在
仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。
VirtualLab可以支持此類
透鏡的
光線和場追跡分析。通過場追跡分析,可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點。
相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場,也可以深入研究矢量效應(yīng)。
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-<$x ~F[L4y!sL Ijedo/ U[||~FW' 建模任務(wù)
`ROG~0lN( `X8@/wf# REA;x-u* 概述
>K:u?YD[ FPv"N'/ •案例
系統(tǒng)已預先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。
f)6)) •接下來,我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。
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