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VirtualLab:白光邁克爾遜干涉儀
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xunjigd
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發(fā)表于: 2019-12-04
關鍵詞:
干涉儀
1. 摘要
Q}g"pl
NZwi3
白光
干涉儀
是一種非接觸測量技術,用于如表面輪廓或微小位移的高
精度
測量。利用一個邁克爾遜干涉儀
系統(tǒng)
和一個氙燈
光源
在VirtualLab Fusion中
仿真
了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等
光譜
特性,結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。
CXi:?6OG
D8$4P