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用于光學測量的菲索干涉儀
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發(fā)表于: 2020-03-20
摘要
QqA~y$'ut
*,A?lX,9A
斐索
干涉
儀是工業(yè)中常見的
光學
計量設(shè)備,它們通常用于光學表面質(zhì)量的高
精度
測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個菲索干涉儀,并利用它測試了不同的光學表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。
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