[求助]目前工藝介質(zhì)膜厚精度能到多少？ [復(fù)制鏈接]

想咨詢一下，以目前的鍍膜工藝水平，蒸鍍和濺射方法鍍制介質(zhì)膜，膜厚精度分別能到多少? 膜系總厚在100nm左右。 (%'9CfPx  

求教，有人嗎

你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？
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物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。

晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點(diǎn)，  2%~3%的也能應(yīng)付。

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再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 Z-X?JA\&  
鍍膜更重要的是重復(fù)性。

ouyuu:你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ z_|oCT!6  
物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。 (2020-03-20 16:40)  #;KsJb)N.  

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謝謝！物理膜厚精度，

morningtech:晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點(diǎn)，  2%~3%的也能應(yīng)付。 u+9<&)X0  
再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 t