SFIT Surface fit to data
當(dāng)您想要表面的面型與（X，Y，Ｚ）坐標(biāo)（如：由數(shù)字化干涉圖產(chǎn)生的）相匹配時(shí)，SYNOPSYS可以計(jì)算曲面建模所需的系數(shù)。在程序中獲得的大部分表面面型都能夠匹配。（如果面型時(shí)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的，您也可以用CSAG，輸入更簡(jiǎn)單）。
輸入是：
:Ek3]`q# tp b(.`G
必須在第二行輸入所需的面型以及表面編號(hào)。在這個(gè)輸入中，面型是下面的其中之一：
?Q6ZZQ~ TzrU |D?
這里給出22項(xiàng)冪級(jí)數(shù)多項(xiàng)式（R是軸向曲率半徑）：
4OdK@+-8U Rp.FG e(k$k>? e0<L^|S Zernike多項(xiàng)式：
gC/- 7/} 
@"`{Sh`Y$ 
8;P_KRaE p+R8Mo;I jqy?Od ) l5_%Q+E_ 如果包含[L]，則假定DZ變形輸入與鏡頭單位相同。如果在單詞２中存在任何其他條目或空白，則假定DZ信息處于主波長(zhǎng)的波形中�？蛇x輸入D是一個(gè)阻尼因子，可用于防止在變形輸入低于多項(xiàng)式約束時(shí)出現(xiàn)奇異性，該阻尼因子通過(guò)最小二乘法求解。但是最好輸入足夠大的變形數(shù)組來(lái)過(guò)度約束解。
LiD-su
D SN是數(shù)據(jù)將被分配到的表面編號(hào)�？蛇x輸入APS是參考孔徑，可被Zernike系數(shù)使用，其在該孔徑上是正交的（默認(rèn)是單位圓），也可被USS面型使用；APD是全孔徑干涉圖上的尺寸。
如果APS不等于APD，則（X，Y）干涉圖坐標(biāo)將自動(dòng)縮放，以使APD處的位置變得等于APS。
如果在DEF之前打開(kāi)switch 13，則還會(huì)生成輸入文件列表和使用系數(shù)計(jì)算的變形表，該列表可以與原始輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，以檢查曲線(xiàn)擬合的精度。
hN_,Vyf 請(qǐng)注意，任何曲線(xiàn)擬合程序必須處理兩個(gè)相互矛盾的要求：您想要擬合盡可能準(zhǔn)確，同時(shí)您總是給出不準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。物理測(cè)量，或數(shù)字化干涉圖的結(jié)果，只有有限的精度。由于這些沖突，準(zhǔn)確復(fù)制所有輸入數(shù)據(jù)點(diǎn)的曲線(xiàn)可能會(huì)顯示明顯的振蕩。也就是說(shuō)，這些數(shù)據(jù)點(diǎn)之間的曲線(xiàn)可能是劇烈振蕩的，而這些點(diǎn)本身非常準(zhǔn)確。
.w)T2(
處理這種沖突通常由兩種辦法。第一種是給出輸入設(shè)置的阻尼因子。該參數(shù)的作用是根據(jù)系數(shù)的大小來(lái)控制擬合：較大的阻尼產(chǎn)生較低的系數(shù)和較平滑的曲線(xiàn)。擬合點(diǎn)在輸入點(diǎn)處可能不那么準(zhǔn)確，但這些點(diǎn)之間的振蕩較少，結(jié)果可能比輸入數(shù)據(jù)更準(zhǔn)確。第二種方法，適用于Zernike擬合，即給出比實(shí)際CAO稍大的單位孔徑尺寸。這使得程序使用多項(xiàng)式擬合數(shù)據(jù)，其中所有空間波長(zhǎng)與較小的實(shí)際孔徑相比較大。結(jié)果再次減小響應(yīng)。您將不得不嘗試這些方法，檢查RSS擬合誤差和擬合平滑度，如PUPIL或SPROFILE功能顯示。
請(qǐng)注意，以前的版本中使用命令DEF，ZERNIKE和ZE4.這些格式仍然可用，但建議您使用新格式。
] I0(_e|z}
這里給出一個(gè)實(shí)例：
CCW
:6frx=< GET 1
#e;\Eap ON 13
H
