SYNOPSYS可以將一組測量的表面sag值擬合到
非球面上。這可以用來
模擬被測表面,以便分析所建立的
透鏡的性能。假定面型是旋轉(zhuǎn)對稱的,
程序將面型USS 21分配給表面。(也可以使用SFIT為非對稱形狀建模。)
j%
7Gje[ 輸入是:
#rX^)2 ;X+tCkzF ^g6v#]&WA 透鏡必須是當前的,并且要建模的表面指定為sn。要擬合的區(qū)域數(shù)必須介于3到50之間。
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La 輸入是包括
孔徑(y)和每個點的測量凹陷(sag)的列表。必須對測量值進行歸一化,使軸點具有零凹陷,但鍵入的輸入數(shù)據(jù)以第一個非零Y坐標開始。
KBtqtE'(L 當讀取所有數(shù)據(jù)時,程序提交一個
優(yōu)化運行,該過程將每個指定區(qū)域的sag目標定為測量值,隨著要建模的點的變化,許多G項變量也發(fā)生變化,最多30個區(qū)域可用于此形狀。
!9
kNL 51|s2+GG 7QTS@o- 例子:
,= ApnNUgX 測量了表面3的非球面形狀,并給出了其測量結(jié)果。然后按照如下輸入:
F]6G<6T[ j1g$LAe k
6[ 程序找到了下列系數(shù),評價
函數(shù)下降到1.616E-12.這是一個非常好的擬合。
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v5v ~3j+hN8<