SYNOPSYS中
光柵表面輸入格式：
mlYkn SN GRATING {X/Y} L/MM ORDER CWAV HIN VNUM rf^ u&f 其中，X-衍射發(fā)生在X-Z平面；Y-衍射發(fā)生在Y－Z平面。Ｌ／ＭＭ－給出了光柵刻線數(shù)；ORDER-衍射級次；CWAV-波長；HIN-基底
折射率；
]z!Df\I VNUM-相應的阿貝數(shù)；
Mp QsM-iW F}.R -j# 例子:
'rNLh3 RLE
cA+T-A] ID GRATING_REAL FLAT
|No9eZ8>. WAVL .6000000 .5000000 .4000000
Ei<m/ v
APS 1
NFy
