SYNOPSYS中
光柵表面輸入格式:
X1:| SN GRATING {X/Y} L/MM ORDER CWAV HIN VNUM QpS0iUG 其中,X-衍射發(fā)生在X-Z平面;Y-衍射發(fā)生在Y-Z平面。L/MM-給出了光柵刻線(xiàn)數(shù);ORDER-衍射級(jí)次;CWAV-波長(zhǎng);HIN-基底
折射率;
N4!YaQQ;} VNUM-相應(yīng)的阿貝數(shù);
C2AP u%a2"G| 例子:
TuwH?{
FzK RLE
U/yYQZ\) ID GRATING_REAL FLAT
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