SYNOPSYS中由許多MTF分析方法，都可在對(duì)話(huà)框MOP中找到，也可使用命令。 ,4tuWO)" 一、卷積 MTF，精確 OPD（MTF）；卷積 MTF，插入 OPD（ZMTF）。 &@h(6 1. 單一頻率顯示： I=G-(L/& 
;Wu6f"+Y#
S)$iHBx{ [ Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR FREQ [ GRID ] GBAR
2.通過(guò)可選繪制圖分析21個(gè)頻率顯示：
^\oc H|D
[Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR 0 [ GRID ] GBAR [ P ]
第一種方式是在FREQ的空間頻率下計(jì)算子午和弧矢的MTF，對(duì)于聚焦透鏡而言頻率單位為 cy / mm，對(duì)于 AFOCAL 而言頻率單位為 cy / mr。助記符“MTF”使用精確光線(xiàn)選項(xiàng)，而“ZMTF”使用波前插值法。如果開(kāi)關(guān) 84 關(guān)閉，這是 Zernike 展開(kāi)式，如果開(kāi)啟，則是線(xiàn)性樣式。可以為 ICOL 輸入明確的顏色編號(hào)，為主要顏色輸入字母“P”，或者輸入字母“M”，表示多色分析。如果輸入 P，則第二種形式給出 21 個(gè)頻率的 MTF，并且可選地給出曲線(xiàn)圖。
二、多視場(chǎng)卷積 MTF，精確 OPD（ MFF）；多視場(chǎng)卷積 MTF，插值 OPD（ MZMTF）
從對(duì)話(huà)框MMF中或命令模式下獲得四個(gè)視場(chǎng)點(diǎn)的卷積MTF。
7 I`8r2H
MFF (exact-ray method)
或 MZMTF [ GRID ] (Interpolationmethod)
[ HBAR HBAR HBAR HBAR HBAR …]
[ HGEN NHBAR]
ICOL{ICOL/M/P}
[GBAR GBAR]
{PLOT/GO}
當(dāng)沒(méi)有給出 HBAR條目時(shí)，默認(rèn)視場(chǎng)為 0,0.5,0.75 和 1.0。 HGEN條目創(chuàng)建了一個(gè) NHBAR 視場(chǎng)的數(shù)組,均勻分布在 0 到 1.0 之間。在 HBAR或 NHBAR 上可以指定最多 20 個(gè)視場(chǎng)點(diǎn)。
MZMTF 選項(xiàng)使用的是波前插值法，如果開(kāi)關(guān) 84 關(guān)閉，它將是一個(gè) Zernike 展開(kāi)式，如果開(kāi)關(guān) 84 打開(kāi)，它將是一個(gè)線(xiàn)性樣式。這些情況可以接受可選的[GRID]輸入(默認(rèn)為 80)。
如果透鏡校正不好，并且您想在低頻下檢查 MTF，那么在打開(kāi)開(kāi)關(guān) 84 的情況下，使用 MZMTF 選項(xiàng)可以獲得更好的精度。
三、 卷積 MTF視場(chǎng)（MOF）； MOF的插值（ZMOF）
osdl dS
[Z]MOF { ICOL / M / P } 0 FREQ { GRID/ 0 } GBAR [ Q ] [FREQ FREQ FREQ]
這里， MOF 利用精確的光線(xiàn)衍射 MTF 計(jì)算，并且 ZMOF在光瞳上插入每個(gè)點(diǎn)得到近似 OPD，如果開(kāi)關(guān) 84 關(guān)閉則使用 Zernike 方法，如果開(kāi)啟則使用線(xiàn)性樣式。
FMOF 和 FZMOF選項(xiàng)執(zhí)行從 HBAR=-1 到+1 的完整跟蹤，而其他選項(xiàng)執(zhí)行從 0到+1 的跟蹤。
[Y_CR xa\u FREQ 是第一個(gè)要分析的空間頻率。 - - chU5
GRID 是網(wǎng)格編號(hào)，從 20 到 80; 這僅適用于插值選項(xiàng)。 6A9
r{'1
GBAR 是傾斜視場(chǎng)點(diǎn)。必須為此定義傾斜視場(chǎng)以表示相關(guān)內(nèi)容。 wYAi-gdOi
Q 設(shè)置 quiet 操作：程序將不會(huì)列出所有繪制的 MTF。 kI|7o>}<
FREQ ...最多可以分析三個(gè)空間頻率。
四、焦點(diǎn)卷積 MTF（TFMTF）
n3Q Rn^
從對(duì)話(huà)框 MTM 中，可以在給定空間頻率處將卷積 MTF 繪制為最多四個(gè)視場(chǎng)點(diǎn)和 10 個(gè)波長(zhǎng)處的焦點(diǎn)位置的函數(shù)。命令模式輸入是：
、 `!A<XiAOmM
主波長(zhǎng)中的默認(rèn)值為 HBAR =（0,0.5,0.75,1.0）和 GBAR = 0。 “M”表示多色分析， “P”表示默認(rèn)顏色。
HBAR 線(xiàn)路上可能設(shè)定最多 20 個(gè)視場(chǎng)點(diǎn);如果輸入視場(chǎng)， 將生成一組 NHBAR字段點(diǎn)，這些點(diǎn)均勻分布在 0 到 1 之間。 后者需要命令模式輸入。
該程序還可以在最多四個(gè)空間頻率的單個(gè)視場(chǎng)點(diǎn)處繪制 MTF。如果在命令行中設(shè)置多個(gè)頻率，則將分析所有頻率，并且僅使用第一個(gè)HBAR。在這種情況下，需要命令模式列表。
oW
\k%Vj 由于該程序使用精確光線(xiàn)追跡而不是某些其他 MTF 選項(xiàng)可用的插值選項(xiàng)，因此不應(yīng)在低于衍射截止值的約 1/40 的空間頻率下設(shè)置它。
該程序評(píng)估總共 7 個(gè)焦點(diǎn)位置，由焦點(diǎn)增量 DF 分隔。
五、傅立葉變換 MTF（DMTF）
Q^k\ q
