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    [分享]投影光刻物鏡倍率的公差分析與補(bǔ)償 [復(fù)制鏈接]

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    離線ka2012
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-04-17
    摘要:為滿足嚴(yán)格的套刻需求,雙遠(yuǎn)心結(jié)構(gòu)投影光刻物鏡需要選擇恰當(dāng)?shù)脑苿觼磉M(jìn)行倍率的補(bǔ)償和調(diào)節(jié)。 提出了一種簡單而實(shí)用的方法來進(jìn)行倍率的公差分析。該方法利用商業(yè)優(yōu)化設(shè)計(jì)軟件和有限差分算法計(jì)算了多 項(xiàng)公差對物鏡倍率的敏感程度,同時結(jié)合公差對系統(tǒng)像差的敏感度選擇最佳的倍率補(bǔ)償元件。利用以上方法, 對一臺雙遠(yuǎn)心、工作波長193nm以及數(shù)值孔徑0.75的投影光刻物鏡進(jìn)行了倍率的公差分析和補(bǔ)償器優(yōu)選。結(jié)果 顯示,系統(tǒng)較好地實(shí)現(xiàn)了±50x10-6的倍率調(diào)節(jié)功能,而系統(tǒng)波像差劣化程度均方根值小于1.5nm。 t UW'E  
    71w$i 4  
    關(guān)鍵詞:光學(xué)設(shè)計(jì);倍率;公差分析;投影光刻物鏡
    附件: 投影光刻物鏡倍率的公差分析與補(bǔ)償.rar (325 K) 下載次數(shù):96 ,售價(jià):2光幣[記錄]
     
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    離線Optic_Stud
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-04-17
    感謝分享 公差分析是很重要
    離線qqppzf
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-07-29
    謝謝分享
    離線yexiaowei123
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2021-10-13
    謝謝分享,好資源
    離線illum_chaser
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2022-09-14
    感謝分析,正好在做這個
    離線chenguixi
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2023-01-03
    我看看
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2023-02-28
    謝謝分享,好資源
    離線王教主
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2023-03-12
    感謝分享 公差分析是很重要
    離線xqeandxx
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 07-11
    感謝分享。 aLuxCobV  
    離線uknowho
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 07-19
    感謝,深入學(xué)習(xí)