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大口徑非球面系統(tǒng)的共基準(zhǔn)加工與檢驗(yàn)
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大口徑非球面系統(tǒng)的共基準(zhǔn)加工與檢驗(yàn)
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關(guān)鍵詞:
光學(xué)加工
光學(xué)檢測
基準(zhǔn)
非球面
摘要:針對大
口徑
離軸
非球面
系統(tǒng)
加工與裝調(diào)的難點(diǎn),提出了非球面
光學(xué)
系統(tǒng)共
基準(zhǔn)
加工與檢測的方法,對該方法的基本
原理
和實(shí)現(xiàn)過程進(jìn)行了分析和研究。當(dāng)
光學(xué)系統(tǒng)
的主鏡和第三鏡面形的RMS值優(yōu)于λ/10(λ=632.8 nm)時,對主鏡和第三鏡進(jìn)行共基準(zhǔn)裝調(diào)和測試,并進(jìn)行背板一體化裝嵌,然后利用離子束對其進(jìn)行一體化共基準(zhǔn)加工。結(jié)合
工程
實(shí)例
,對一大口徑非球面系統(tǒng)口徑為724 mm×247 mm的非球面主鏡和口徑為632mm×205 mm的第三鏡進(jìn)行了共基準(zhǔn)加工與檢測,最終利用離子束共基準(zhǔn)一體化精
拋光
得到主鏡和第三鏡面形的RMS值分別為0.019λ和0.017λ,滿足光學(xué)
成像
。
1PwqWg-\\
C[cNwvz
關(guān)鍵詞:
光學(xué)加工
;
光學(xué)檢測
;非球面;三鏡消像散系統(tǒng);共基準(zhǔn);離子束加工
附件:
大口徑非球面系統(tǒng)的共基準(zhǔn)加工與檢驗(yàn).rar
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mang2004
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田濟(jì)源
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huangyang
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huangyang
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guangxing001
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帥鍋1990
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發(fā)表于: 2022-03-02
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