鬼像是由一個(gè)或多個(gè)折射面反射引起的。SYNOPSYS 可以對(duì)兩種類型進(jìn)行評(píng)估和控制:鬼像程序可以顯示在圖像表面上的表面組合對(duì)鬼像圖像負(fù)責(zé)，并且 BGI可以評(píng)價(jià)在
透鏡系統(tǒng)內(nèi)的另一個(gè)位置處形成的鬼像圖像的特性。
}qer 為了控制近軸圖像中鬼像彌散斑的圖像的大小，輸入是
6fh{lx> n
vm^k M
TAR WT A PGHOST
JREFH JREFL `vudS? M
TAR WT A PUGHOST
JREFH JREFL +0VG[ c\8 第一個(gè)是 PGHOST，用于控制物體空間中一個(gè)點(diǎn)的近軸鬼像的彌散斑大小。這是通常的鬼像情況，其中在
視場的一部分中的亮物體在另一部分中形成鬼像圖像。
82lr4 第二種類型 PUGHOST 用于控制入瞳上的點(diǎn)的鬼像圖像的大小。
<5dH *K 假設(shè)由表面 15 和表面 9 的反射產(chǎn)生的鬼像在圖像平面處清晰地聚焦。鬼像越小越清晰，你可以通過增加彌散斑的大小來降低它的強(qiáng)度。假設(shè)你想讓鬼像的半徑不小于 5 毫米。以下是如何在 AANT 文件輸入中將其定位為這個(gè)值:
I 0!j<G M 5 1 A PGHOST 15 9
:~yzDk\I"- 由于較大的鬼像不是缺陷，因此提供單側(cè)
像差常常較好:
Z.!g9fi8> LL 5 .1 4 1
`)"tO&Fn A PGHOST 15 9
5v"Y\k+1 j5kA^MTG 在這里，如果虛半徑為 5.0，缺陷值為 0.1;如果半徑為 4.0，缺陷值為 1.0。注意，像差的返回值總是正的，因此目標(biāo)值也應(yīng)該是正的。
Vl< `|C> 如果使用此特性進(jìn)行
優(yōu)化，請(qǐng)不要打開開關(guān) 47。該選項(xiàng)用于對(duì)單個(gè)鬼像進(jìn)行詳細(xì)分析，如果該開關(guān)設(shè)置用于優(yōu)化，則會(huì)產(chǎn)生大量不必要的顯示輸出。
hQXxG/y Fm 與 GHOST 命令類似，該特征將在開關(guān) 49 處于 on(但不用于 PUGHOST)時(shí)通過所估計(jì)的
衍射斑半徑增大所計(jì)算的近軸鬼像半徑。
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