鬼像是由一個(gè)或多個(gè)折射面反射引起的。SYNOPSYS 可以對(duì)兩種類(lèi)型進(jìn)行評(píng)估和控制:鬼像程序可以顯示在圖像表面上的表面組合對(duì)鬼像圖像負(fù)責(zé)，并且 BGI可以評(píng)價(jià)在透鏡系統(tǒng)內(nèi)的另一個(gè)位置處形成的鬼像圖像的特性。 ?xt ${?KP
為了控制近軸圖像中鬼像彌散斑的圖像的大小，輸入是 [ZETyM`
mZ.E;X& ,*
M TAR WT A PGHOST JREFH JREFL $]b&3_O$N8
M TAR WT A PUGHOST JREFH JREFL $I a-go2W
第一個(gè)是 PGHOST，用于控制物體空間中一個(gè)點(diǎn)的近軸鬼像的彌散斑大小。這是通常的鬼像情況，其中在視場(chǎng)的一部分中的亮物體在另一部分中形成鬼像圖像。 #Y>d@
第二種類(lèi)型 PUGHOST 用于控制入瞳上的點(diǎn)的鬼像圖像的大小。 )Ju $PrO
假設(shè)由表面 15 和表面 9 的反射產(chǎn)生的鬼像在圖像平面處清晰地聚焦。鬼像越小越清晰，你可以通過(guò)增加彌散斑的大小來(lái)降低它的強(qiáng)度。假設(shè)你想讓鬼像的半徑不小于 5 毫米。以下是如何在 AANT 文件輸入中將其定位為這個(gè)值: leEzfbb{'.
M 5 1 A PGHOST 15 9 =e]Wt/AQ
由于較大的鬼像不是缺陷，因此提供單側(cè)像差常常較好: 3M{b:|3/q
LL 5 .1 4 1 :yAv o4 )
A PGHOST 15 9 mGUl/.;yp-
pl.=u0 *
在這里，如果虛半徑為 5.0，缺陷值為 0.1;如果半徑為 4.0，缺陷值為 1.0。注意，像差的返回值總是正的，因此目標(biāo)值也應(yīng)該是正的。 R(HW 0@R@w
如果使用此特性進(jìn)行優(yōu)化，請(qǐng)不要打開(kāi)開(kāi)關(guān) 47。該選項(xiàng)用于對(duì)單個(gè)鬼像進(jìn)行詳細(xì)分析，如果該開(kāi)關(guān)設(shè)置用于優(yōu)化，則會(huì)產(chǎn)生大量不必要的顯示輸出。 :w 4I+* ]
與 GHOST 命令類(lèi)似，該特征將在開(kāi)關(guān) 49 處于 on(但不用于 PUGHOST)時(shí)通過(guò)所估計(jì)的衍射斑半徑增大所計(jì)算的近軸鬼像半徑。 JmVha!<qk
你也可以控制一個(gè)在鏡頭系統(tǒng)中形成的鬼像的大小(一個(gè)"隱藏的鬼像")這在高光焦度激光系統(tǒng)中是有用的，在高光焦度激光系統(tǒng)中，來(lái)自透鏡表面的鬼像可能會(huì) ~ {s7(^ P
對(duì)元件造成嚴(yán)重的聚焦。這種控件的輸入是
\4&FW|mx
M TAR WT A BGI JREFL JHOT }u'O<d~z?
JREFL 是反射光線的表面，而 JHOT 則是你想要監(jiān)測(cè)光通量來(lái)防止損傷的表面。 'p(I!]"uo
這種控制方式也推薦使用 LL 列表。因此，要確保從表面 41 反射到表面 9 上的鬼像光束半徑大于 0.2 個(gè)單位，可以輸入 [>f4&yY
LL 0.2 .01 0.1 5 A BGI 41 9 *!+?%e{;b
在評(píng)價(jià)函數(shù)鐘。這個(gè)例子給出了 0.01 如果鬼像半徑為 0.2 時(shí)的控制，如果其收縮到 1.5，則控制為 5。注意，該控制應(yīng)用于彌散斑半徑的絕對(duì)值，因此該程序?qū)⒆屗僭O(shè)一個(gè)大的正值或負(fù)值，因?yàn)榍闆r需要。 {%z}CTf#
還要注意，PGH 和 BGI 控件都是接近軸的量，不涉及真正的光線追跡。因此，他們忽略了光闌、傾斜和衰變。這兩種都將是第 49 號(hào)開(kāi)關(guān)，并將預(yù)估的衍射斑半徑加到計(jì)算出的幾何圖像半徑，如果這個(gè)開(kāi)關(guān)打開(kāi)的話。 %i`YJ
