[討論]蒸發(fā)鍍膜都有哪些膜料要預融或者充氧鍍的 [復制鏈接]

蒸發(fā)鍍膜都有哪些膜料要預融或者充氧鍍的，大神說一下！

五氧化三鈦怎么鍍的

一般氧化物都充一點，包括sio2，不過會失氧多一些的ti3o5等充氧量大一些

小學僧:五氧化三鈦怎么鍍的 (2020-07-05 22:50)  ?7MqeR4/E  

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需要充氧

氧化物最好都充氧。

充60-70sccm

鍍膜并不是以分子形式，而是以單獨原子的方式蒸發(fā)的。 :'F}Dy  
不同原子的質(zhì)量不同，蒸發(fā)速度和運動角度也不一樣。 UO*Ymj 1  
所以在蒸發(fā)早期或者末期，還有大角度區(qū)域，可能會發(fā)生氧不足的情況。 oh"O07  
（氧多余會變成氣體蒸發(fā)掉，所以不存在氧多余的情況） @yXfBML?]  
這時候適當補充氧氣，可以補足缺失的氧，使得薄膜性質(zhì)穩(wěn)定。

氧化物建議充氧

謝謝學習下 .s+aZwTMT  
謝謝

用PVD，通氧氣和氬氣鍍膜 3}|'0(hYL