計算無鍍膜光學表面中由于誤差產(chǎn)生的波前畸變是相當容易的。由于均勻性誤差引起的相位變化,使膜層缺乏均勻性變得復雜。 edZhI
MUjfqxTT 為了計算由于不均勻性造成的波前誤差,我們必須同時考慮膜層表面偏離理想狀態(tài)的運動以及反射或透射時相移的任何變化。避免混淆的最簡單方法是在外表面引入一層中等厚度的材料,使外表面完全均勻(圖1)。然后,我們簡單地計算出反射和透射的相移。在我們的正常約定中,負相移被轉(zhuǎn)換成波前延遲,通常被視為負。為了將相位轉(zhuǎn)換成波前誤差,我們將其除以360°。 J&w'0 b>]MZhLJe 圖1.計算非均勻前表面膜層(上)和后表面膜層(下)所需的相移。
q37d:Hp 一般來說,較薄的干涉膜層會增加反射相移。對于前表面反射鏡,添加補償入射介質(zhì)材料會減少相移,與膜層變化相反。如圖2所示,從純幾何的角度來看,這種補償行為實際上減少了波前誤差。這是非常幸運的,因為干涉反射膜層很厚,很難保證大面積表面的均勻性達到百分之一左右,較厚的膜層就表現(xiàn)出相反的行為。 6aq=h`Y u,&[I^WK`C 圖2.在21層四分之一堆棧中,由-1%的均勻性誤差引起的波前誤差。Theoretical Figure是純幾何誤差
*+rWn*L 不幸的是,在反射鏡中,膜層相位可能極大地過度補償幾何誤差,導致相反意義上的大尺寸誤差。這在圖3中得到說明。 lD41+x7
X1Vj"4'wT vDit&Lh{T 圖3.由一個四分之一波長堆棧組成的擴展區(qū)域反射鏡顯示了這種設計中固有的過度補償。
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