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摘要 Yuv(4a<M% 6pt,]FlU 當用近軸光照明時,亞波長光柵僅產(chǎn)生一個衍射級,因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題,可以使用非傍軸照明。如在此示例中,采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明,并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程,包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進行嚴格模擬。 TWP@\ BQ }m:paB"3 7@ym:6Y+] N,`@Q7 1. 建模任務(wù) ]LE,4[VxRz I|X`9 &;Ncc,jb hY)zKX_r 2. 結(jié)果 ?QP>rm " ityx? kZ9Gl!g 7qC
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c snbXAx1L e$LC 3. 文件和技術(shù)信息 -Jv,#Z3 Ey@^gHku\ KOixFn1 5Tn< uQ=u@qtp VX:15705182053 #X(2
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