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    [推薦]GLAD:光刻成像系統(tǒng)的建模 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-08-19
    概述 r;SOAucX  
    系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設(shè)計的中繼鏡組成。光源成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會聚,在中繼透鏡的光瞳處形成點(diǎn)像。在中繼透鏡的瞳孔處,多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示: W ![*0pL  
    Oz-@e%8L  
     掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣 u$ff %`E  
     窄條產(chǎn)生寬的旁瓣,僅部分通過中繼入口瞳孔 = PIarUJ  
     寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣,更容易通過中繼入口瞳孔 _`+2e-  
     部分通過旁瓣會產(chǎn)生部分解析 !n|4w$t"V  
    ".sRi  
    系統(tǒng)描述 O]80";Uv  
    _6]c f!H  
    本例介紹了如何采用全局衍射分析對部分相干進(jìn)行建模。如上圖所示,整體裝置是一個科勒照明系統(tǒng),其中有一個聚光元件能夠?qū)⒎窍喔晒庠吹墓膺M(jìn)入轉(zhuǎn)像透鏡的孔徑中。在一個經(jīng)典的科勒照明系統(tǒng)中,點(diǎn)光源通過一個聚光鏡成像在轉(zhuǎn)像系統(tǒng)的光瞳中。光源照亮物體掩膜面,并在最后的成像面上得到適當(dāng)?shù)姆糯。為了對光束合理采樣,光源放在物的共軛點(diǎn)處,這樣在光源面上,點(diǎn)光源將是有一定維度的,而不是像理想點(diǎn)光源那樣,會引起混沌。對一個具有一定尺寸的光源,它所成的像就是部分相干的。如果光源足夠大,大到可以填滿轉(zhuǎn)像透鏡的孔徑的話,所成的像將是非相干的。 z@U5  
    bj7r"_  
    模擬結(jié)果 y)mtSA8  
    <Y+>a#T  
    三柵條圖樣的部分相干成像 m(CAXq-t  
       BjV;/<bt  
    兩組七柵條圖樣建模對比 ->