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摘要 h' &%>Q2 =mp;.k95 通常，計(jì)算模型中假設(shè)的理想化結(jié)果明顯偏離現(xiàn)實(shí)。 其中一個(gè)例子是在蝕刻結(jié)構(gòu)中具有尖銳邊界的微結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)：制造技術(shù)不能實(shí)現(xiàn)完美的銳利壁，而是產(chǎn)生更圓的邊緣。 該可編程模塊應(yīng)用于所設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的銳利結(jié)果，根據(jù)用戶(hù)指定的值對(duì)其邊緣進(jìn)行圓整，以便分析更真實(shí)的結(jié)構(gòu)。 >_"an~Ss xRLT=.ir  'Xq| Kf ( V/I<g 用于平滑結(jié)構(gòu)邊緣的可編程模塊 ;P%1j|
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