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    [分享]用于光刻機(jī)照明均勻化的微柱面鏡陣列設(shè)計(jì) [復(fù)制鏈接]

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    離線991518
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-08-24
    摘要:均勻照明投影光刻機(jī)中實(shí)現(xiàn)光刻線條高度均一性的重要條件。采用微透鏡陣列作為照明勻光器件,能夠 在實(shí)現(xiàn)矩形照明光斑的同時(shí)獲得極高的遠(yuǎn)場(chǎng)分布均勻性;谖⑼哥R陣列現(xiàn)有的加工工藝,設(shè)計(jì)出二維方向分開(kāi) 的柱面微透鏡陣列,并通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì),克服了微透鏡之間的接縫在遠(yuǎn)場(chǎng)光場(chǎng)處產(chǎn)生的中心亮線。仿真分析表明,所 設(shè)計(jì)的微透鏡陣列的遠(yuǎn)場(chǎng)分布不均勻性達(dá)到0.85%。 !H>R%g#28_  
    "vE4E|  
    關(guān)鍵詞:幾何光學(xué);微柱面鏡陣列;光學(xué)設(shè)計(jì);照明均勻性
    附件: 用于光刻機(jī)照明均勻化的微柱面鏡陣列設(shè)計(jì).rar (1733 K) 下載次數(shù):127 ,售價(jià):2光幣[記錄](méi)
    2條評(píng)分 ,光幣+10
    mang2004 光幣 +5 - 2020-08-25
    cyqdesign 光幣 +5 - 2020-08-24
     
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    離線optifdtd
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-08-25
    學(xué)習(xí)了解。。。。。。
    離線ruanpeiz
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-08-27
    好東西  學(xué)習(xí)一下
    離線ruanpeiz
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-08-27
    感謝 感謝
    離線jiatong
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-08-29
    感謝! b:]V`uF?  
    離線wuyy1227
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2020-08-31
    學(xué)習(xí)了!
    離線lzj421223
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2020-09-02
    學(xué)習(xí)了。。≈x謝
    離線hale1987
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2020-09-08
    感謝!
    離線寒夜
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2020-09-09
    謝謝分享。
    離線居安思危
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2020-09-10
    感謝,好東西,學(xué)習(xí)一下