T Q {8 ee{ d;r,?/C 微透鏡陣列是由微米級(jí)透鏡組成的陣列。它具有尺寸小、集成度高的特點(diǎn)，能夠完成一些傳統(tǒng)光學(xué)元件無法完成的功能，構(gòu)成一些新型的光學(xué)系統(tǒng)。微透鏡陣列不僅具有傳統(tǒng)透鏡的聚焦、成像等功能，還可以用在很多光電傳感器、高端照明、光束整形、光束勻化、光纖耦合和激光耦合等方面。 AZJ|.mV q
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|ew:}e: k< 基于VirtualLab Fusion的周期化功能，可以快速的構(gòu)建各種微透鏡陣列，并使用局部平面界面近似（Local Plane Interface Approximation，LPIA）方法來對(duì)其進(jìn)行物理光學(xué)分析，如像差以及衍射效應(yīng)，從而更準(zhǔn)確的評(píng)估微透鏡陣列的性能，并導(dǎo)出IGES、STL等加工文件以進(jìn)行加工。 L#_QrR6Sny "MOmJYH
R*vfp ?x 目前，我們采用納米壓印技術(shù)加工微透鏡陣列，可以在玻璃、PET/PC、硅、金屬或集成電路晶圓等各種材料或器件表面制作微透鏡陣列。微透鏡的材質(zhì)是高透光率、耐高溫的聚合物，如環(huán)氧樹脂或丙烯酸酯。 bXHtw} n
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左圖：VirtualLab Fusion設(shè)計(jì)的微透鏡陣列 右圖：加工的微透鏡陣列結(jié)構(gòu)
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