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本示例演示了VirtuaLab分析光柵的基本功能 ;_+uSalt +%0z`E\?M# 摘要： lpm JLH.F \".^K5Pm VirtualLab (VL) 為用戶提供了一個(gè)好的指導(dǎo)方法以用于創(chuàng)建光學(xué)系統(tǒng)來(lái)對(duì)期望的光柵進(jìn)行分析。 ))T>jh 該案例主要對(duì)一個(gè)線性正弦光柵(周期在一個(gè)方向)的近場(chǎng)和透射衍射級(jí)次的效率進(jìn)行了基礎(chǔ)研究。 #R&H &1 8P: spD0 兩種不同周期線性正弦光柵結(jié)果的對(duì)比: wCKj 7y[ 光柵周期遠(yuǎn)大于波長(zhǎng) PK2~fJB 光柵周期在波長(zhǎng)范圍 @g-Tk
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建模任務(wù) /-M@[p&
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多次反射 5M_Wj*a}7
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■ 傅里葉模態(tài)方法是一種嚴(yán)格的方法，它考慮了光柵元件內(nèi)部多次反射。 nsuX*C7
■ 光柵工具箱通常默認(rèn)輸入光為無(wú)限擴(kuò)展的平面波。 TnH\ O$
■ 對(duì)于這樣的無(wú)限平面波，其相應(yīng)的多次反射效應(yīng)會(huì)對(duì)結(jié)果產(chǎn)生不同的影響，當(dāng)輸入光尺寸有限時(shí)，其多重反射效應(yīng)消退的更明顯。因此在某些情況下，我們希望忽略這些多次反射。 Dr#c)P~Wd
■ 例如，如果你對(duì)一個(gè)周期性表面的影響感興趣– 如本案例中–由于單一相應(yīng)介質(zhì)轉(zhuǎn)換，可對(duì)該效應(yīng)進(jìn)行研究。 nE W31 8
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無(wú)多次反射的研究 h2q/mi5{ ■ 我們?cè)诨變?nèi)部設(shè)置探測(cè)器, 直接位于光柵結(jié)構(gòu)后方。 Y %aWK~O
F"jt&9jg ■ 盡管光源和光柵元件以及光柵元件和虛擬屏間距離設(shè)置為0，但必須設(shè)置介質(zhì)，這樣才能保證正確的轉(zhuǎn)換。 KY9n2u&4
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計(jì)算 2N [=
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■ VirtualLab的光柵工具箱提供十分精細(xì)的不同顯示選項(xiàng)的評(píng)估工具。 =H`Q~ Xx
■ 該文件中展示了這些功能中的一部分。 HIvZQQW|
■ 這里有一些下載的用戶案例文檔，詳細(xì)地解釋了這些不同工具特殊操作。只需要所搜你感興趣的對(duì)應(yīng)關(guān)鍵詞即可。 oF&l-DHp
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周期為10um的光柵結(jié)果 uaPx"
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近場(chǎng) +cu^%CXT
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近場(chǎng)位相值(周期=10μm) 1Y j~fb( 3個(gè)周期的近場(chǎng)正弦位相分步，由于一個(gè)恒等的相位偏移，相位分布具有一個(gè)2Pi系數(shù)階步。 %&<LNEiUN A*yi"{FLi ■ 場(chǎng)的振幅變化很小。 @'2 m$a
:!TI K1 ■ 在078~0.86的范圍內(nèi)。 45 >XKr.%
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不同放大倍率顯示  v3[@1FQ" 數(shù)值的表格顯示 $.E6S<(h
級(jí)次計(jì)算(周期=10μm) >b o'Y9C
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近場(chǎng)位相值(周期=1μm) tln37vq
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■ 再次顯示3個(gè)周期。 ))h6~1`
■ 由于共振效應(yīng)，具有小尺寸結(jié)構(gòu)的光柵不在產(chǎn)生正弦位相分布。
ZI>km?w
JCniN";r[ ■ 振幅同樣劇烈地改變。 LRb, VD:/Y ■ 此時(shí)變化范圍從0.2 ~ 1.2. (g!p>m!Z ■ 這是光柵周期趨近于波長(zhǎng)量級(jí)時(shí)的典型現(xiàn)象。 pbXi9|bI
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說(shuō)明 MjL)IgT
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